Depunerea si obtinerea de filme subtiri prin ablatie laser

Lucrare de licenta despre Depunerea si obtinerea de filme subtiri prin ablatie laser
Odata depasit pragul de vaporizare, cu cresterea intensitatii radiatiei laser incidente creste cantitatea de material ablat prin doua mecanisme: prin vaporizare si prin expulzare in faza lichida (sau chiar solida) de catre jetul de vapori format deasupra tintei si de catre detenta plasmei (in cazul in care aceasta se formeaza). Este mai avantajos sa se elimine o cantitate mai mare de material in faza lichida, din punctul de vedere al eficientei energetice, deoarece pentru evaporarea sa ar trebui consumata o energie mult mai mare.

Reprezentand grafic eficienta procesului de ablatie in functie de intensitatea radiatiei incidente se va observa o regiune in care eficienta ramane scazuta si aproape constanta, regiune care corespunde indepartarii de material numai prin evaporare. Eficienta evaporarii este mica datorita caldurii latente de vaporizare. Odata cu cresterea intensitatii laser, viteza frontului de evaporare devine suficient de mare incat vaporii sa creeze in fata tintei un jet in care presiunea sa fie ridicata. Acest jet sub presiune indeparteaza stratul superficial de topitura. Marind intensitatea radiatiei laser incidente, o cantitate tot mai mare de material se evapora, acest fapt ducand la scaderea eficientei ablatiei desi cantitatea totala de material ablat creste.

Lucrare de licenta despre Depunerea si obtinerea de filme subtiri prin ablatie laser

Lucrare de licenta despre Depunerea si obtinerea de filme subtiri prin ablatie laser
Cuprins

Capitolul I. Introducere............................................3
Ablatia laser.................................................3
Avantaje si dezavantaje ale ablatiei laser.............................................10

Capitolul II. Depunerea de filme subtiri prin ablatie laser...........................................12
Interactia radiatiei laser-suprafata...............................12
Expansiunea plasmei............................................18
Cresterea filmelor--modele de crestere.................................21
Nucleatia si cresterea filmului......................................22

Capitolul III. Obtinerea de filme subtiri de ZrSixOy prin ablatie laser alternativa.................................27
Aplicatii si proprietati ale filmelor subtiri de SiO2 si ale ZrO2................................................27
Conditii experimentale...........................................33
Rezultate si concluzii...........................................35

Concluzii........................................................39

Bibliografie.........................................................40